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管式低压氧化退火设备

低压氧化、退火。

管式低压硼扩设备

低压、高温硼扩散掺杂。

管式低压磷扩设备

低压磷扩散掺杂。

管式A&P设备

AlO+SiN薄膜沉积。

管式PECVD设备

SiN、SiON等薄膜沉积。

管式二合一PECVD设备

AlO+SiN薄膜沉积。

管式PE-Poly设备

TOPCon电池隧穿氧化层、i-Poly、D-poly沉积。

管式LPCVD设备

TOPCon电池隧穿氧化层、i-poly、D-poly低压化学气相沉积。