管式低压硼扩设备

设备名称 Equipment name

管式低压硼扩设备  Horizontal Low Pressure Boron Diffusion Equipment

设备型号 Equipment Model

DOA-420/DOA-420L/DOA-420MAX

设备用途 Equipment Application

低压、高温硼扩散掺杂。
Low pressure, high temperature boron diffusion & doping.

技术特点  Features 

1、成熟BBr3液态源、BCL3气态源控制与输送技术。

Matured BBr3 liquid source & BCL3 gas source control and delivery technology.

2、配套相关专利技术。
Patented technology..

3、独特双嵌套炉门结构。
Unique double-layer-nested furnace door structure.

4、高速平稳整体模组推舟机构。
High-speed and stable integral module boat pushing mechanism.

5、智能化全自动控制。
Intelligent automatic control.

6、自主知识产权MES软件。
MES software with independent intellectual property rights.

7、匹配S.C智能化生产管理系统。

Matching S.C smart production management system.

设备参数  Parameters