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晶体硅电池交钥匙工程解决方案

适用于旧线改造升级，对客户实施交钥匙工程。适用于单、多晶硅光伏电池片生产企业的新线建设，对客户实施交钥匙工程。
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晶硅电池AGV智能生产线

取代人工搬运片篮、信息智能交互、资源智能管控，实现整线自动化生产，工厂智能化管理。
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高效异质结(HJT)太阳能电池智能生产线

适用于高效异质结(HJT)太阳能电池片生产企业的新线建设。
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n-TOPCon 太阳能电池智能生产线

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单晶槽式制绒设备

主要对单晶硅太阳能电池用硅片进行绒面腐蚀和清洗处理。
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槽式RCA清洗设备

用于扩散后的硅片去绕镀、清洗处理。
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管式低压氧化退火设备

低压氧化、退火。
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管式低压硼扩设备

低压、高温硼扩散掺杂。
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管式低压磷扩设备

低压磷扩散掺杂。
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槽式碱抛光清洗设备

用于扩散后的硅片抛光刻蚀、清洗处理，以及搭配双面电池背面制绒、清洗处理。
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管式A&P设备

AlO+SiN薄膜沉积。
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管式PECVD设备

SiN、SiON等薄膜沉积。
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