产品中心 > 晶体硅电池设备 > 全自动单晶制绒酸洗综合设备

全自动单晶制绒酸洗综合设备

设备简介   

设备名称:全自动单晶制绒酸洗综合设备

设备型号:SC-CSZ7400E-15F

设备用途:主要对单晶硅太阳能电池用硅片进行绒面腐蚀和清洗处理。

工艺流程:去损伤→预清洗→单晶制绒→后处理→酸洗→预脱水→烘干           

 

技术特点

· 产能:400PCS/批 7400PCS/H。

· 工艺槽循环量可调。

· 制绒金字塔均匀,刻蚀深度可调。

· 支持最薄120μm硅片。

· 洁净干燥区域,自洁净干燥系统。

· 可以实现H2O2 free。

· 快速换液,在线换液。

· 支持MES、RFID及选配在线称重功能

· CoO超低

· 在线换液

· 在线烘干

· O3功能

· H2O2 free



 

设备参数  

全自动单晶制绒酸洗综合设备--参数.JPG