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单晶槽式制绒设备

设备简介  Equipment Description

设备名称:单晶槽式制绒设备
Equipment Name: Automatic Mono-CrystallineTexturing Equipment

设备型号:SC-CSZ8000E-15F
Equipment Model: SC-CSZ7400E-15F

设备用途:主要对单晶硅太阳能电池用硅片进行绒面腐蚀和清洗处理。
Equipment Application: Used for texturing& cleaning of mono crystalline wafers.

工艺流程:去损伤→预清洗→单晶制绒→后处理→酸洗→预脱水→烘干  
Processing Steps:  Saw damage removal→Pre-cleaning→Mono-texturing→Postcleaning→Acid cleaning→Hot water drying→Drying (for reference only)

 

技术特点  Features

· 产能:400PCS/批 8000PCS/H。
  Throughput: 400PCS/batch, 8000PCS/H.

· 工艺槽循环量可调。
  Process Bath circulation volume adjustable.

· 制绒金字塔均匀,刻蚀深度可调。
  Uniform pyramids texture, etch depth adjustable. 

· 支持最薄120μm硅片。
  Wafer thickness down to 120μm.

· 洁净干燥区域,自洁净干燥系统。
  With clean dry area and self-clean dry system.

· 可以实现H2O2 free。
  
H2Ofree.

· 快速换液,在线换液。
  Quick inline bath change.

· 支持MES、RFID及选配在线称重功能。
  
Suitable with MES, RFID and inline weight testing optional.


设备参数 Parameters