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全自动石英舟装卸片机

设备名称:全自动石英舟装卸片机

设备型号:SYZ-Ⅲ/SYZ-IV

设备用途:集装片和卸片一体,可从石英舟中把扩散后的硅片卸到片篮中,也可从片篮中将制绒后的硅片装入石英舟中。可在一个石英舟插槽中插入两片,实现单面扩散片工艺,也可在一个石英舟插槽中 插入一片,实现双面扩散片工艺。采用装片与卸片可连续衔接方式,实现连续生产;也可单独装片或单独卸片。

 

技术特点  

SYZ-III

· 关键部位采用德国IFM高品质、高稳定性的系列传感器,保证检测的可靠性。

· 控制程序结构模块化,重复调用及可读性强,便于功能扩展与维护。

· 采用配方数据的设计使设备能适应各种不同加工精度的石英舟,以自动跟随舟号的方式自动调取与舟号相对应的配方数据进行生产,无需人工干预。

· 匹配AGV,RFID;可选配MES功能;可选配方阻检测模组。


SYZ-IV

· 产能:7200片/小时。

· HMI采用(IPC)工业计算机运行上位软件,通过网络通讯实现高速数据交互。

· 采用工业相机CCD检测石英舟动态位置实现纠偏定位。

· 卸片前设有冷却系统,可防止因高温带来对硅片和设备的不良影响。

· CCD影像预判舟内硅片状况结合机械臂各吸盘吸取状态实现漏吸与掉片检测。(选配,标准机型无此功能)

· CCD图像分析判断陶瓷顶齿区域碎片,配合动态跟随清理装置实现自动清理碎片。(选配,标准机型无此功能)

· 匹配AGV,RFID;可选配MES功能;可选配方阻检测模组。

 

设备参数  

 

全自动石英舟装卸片机(设备参数).JPG