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全自动石墨舟装卸片机

设备简介

设备名称:全自动石墨舟装卸片机

设备型号:SMZ-Ⅲ

设备用途:本设备为在线式,可与一台侧出舟设备对接,实现石墨舟的自动传输和硅片自动装卸,满足在太阳能电池片生产过程中的PECVD工艺前后,将片篮中的硅片自动装载到石墨舟,并将石墨舟输送到PECVD设备中,或将PECVD设备中的石墨舟输送到本设备,并将石墨舟中的硅片自动装载到片篮中。

 

技术特点

· 设备模块化设计,可以在线连接1台PD-450的PECVD。

· 采用PC机控制,平板电脑菜单操作,简单明了。

· 具有在线隐裂片检测、在线膜厚检测、在线色差检测及NG片自动处理功能。

· 在线/离线配置。

· 匹配AGV,RFID;可选配MES功能。

 

设备参数

全自动石墨舟装卸片机(主图).JPG