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管式等离子体淀积炉

设备简介 

设备名称:管式等离子体淀积炉

设备型号:PD-450

设备用途:主要用于晶体硅太阳能电池制造中电池片的减反射膜生长,也可用于在电池片的背面沉积钝化膜。

工艺流程:石墨舟及硅片准备→管内充氮气→进舟→抽真空、压力测试→氨气预清理和检查→管路抽真空、测漏、恒温→预镀膜→镀膜→抽真空、压力测试→清管路、充氮气→退舟

 

技术特点 

· MES控制功能。

· 中央计算机集中控制。

· 双炉门结构设计。

· 双水冷凝冷却密封技术。

· 悬浮承载舟技术。

· 快速镀膜技术。

· 兼容氮氧化硅PERC技术。

· 5管,3800片/小时以上产能。

· 具备一定的氧化铝退火功能。


·大产能,3800片/小时,416片/舟

·高均匀性:≤±3%,≤±3%,≤±2%

(片内,片间,批间,膜厚:80nm)

 

 

设备参数


管式等离子体淀积炉结构图(参数中文).JPG