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管式等离子体氧化铝淀积炉

设备名称 Equipment Name

管式等离子体氧化铝淀积炉  Horizontal PECVD (AlOx ) 

设备型号 Equipment Model

PD-450M

设备用途 Equipment Application

本设备主要用于在硅片背面通过N2O和TMA淀积氧化铝钝化介质膜,提高电压和电流,再在氧化铝膜表面淀积氮化硅保护膜。
Deposit AlOx passivition dielectric film on the rear side of solar cells x through N2O and TMA gas to increase voltage and current of the solar cell and then deposit SixNy protective film on the surface of the AlOx film. 


工艺流程 Process Flow

石墨舟及硅片准备——管内充氮气——进舟——抽真空、压力测试——淀积氧化铝复合膜——抽真空、压力测试——清管路、充氮气——退舟
graphite boat & wafers ready→Nitrogen inlet→graphite boat load in→vacuum,pressure test → deposit AlO film→vacuum, pressure test→ tube cleaning and Nitrogen inlet→graphite boat unload.


技术特点  Features

1. 氧化铝/氮化硅⼆合⼀功能。
AlOx / SixNy two-in-one function. 

2. MES控制功能。
MES control.

3. 中央计算机集中控制。
Central computer control.

4. 双炉门结构设计。
Double furnace door.

5. 双水冷凝冷却密封技术。
Double cooling water flanges sealing technology.

6. 悬浮承载舟技术。
Graphite boat contact-free with quartz tube.

7. 快速镀膜技术。
Fast coating technology.

8. 兼容氮氧化硅PERC技术。
Compatible with SiOxNy PERC technology. 

9. 均匀性改善系统。
Uniformity improvement system.


设备参数  Parameters



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