设备简介
设备名称:链式湿法刻蚀设备
设备型号:SC-LSS4500CS/ SC-LSS8000CS
设备用途:对单、多晶硅片进行刻蚀、清洗、干燥。
工艺流程:正面保护→刻蚀→碱洗→酸洗→烘干
技术特点
· 高产能:4500PCS/5道,8000PCS/10道。
· 高均匀性,超长药液寿命。
· 支持多种添加剂或混合添加剂技术。
· 支持最薄120μm硅片。
· 快速换液,在线换液。
· 支持MES,选配在线称重检测。
· 兼容酸抛光功能。
·免加硫酸
·无刻蚀线
·自动化程度高
·PID-Free(O3模块,可选)
设备参数