设备简介   

设备名称：链式湿法刻蚀设备

设备型号：SC-LSS4500CS/ SC-LSS8000CS

设备用途：对单、多晶硅片进行刻蚀、清洗、干燥。

工艺流程：正面保护→刻蚀→碱洗→酸洗→烘干

技术特点 

· 高产能：4500PCS/5道，8000PCS/10道。

· 高均匀性，超长药液寿命。

· 支持多种添加剂或混合添加剂技术。

· 支持最薄120μm硅片。

· 快速换液，在线换液。

· 支持MES,选配在线称重检测。

· 兼容酸抛光功能。

·免加硫酸

·无刻蚀线

·自动化程度高

·PID-Free（O3模块，可选）

设备参数