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链式湿法刻蚀设备

设备简介   

设备名称:链式湿法刻蚀设备

设备型号:SC-LSS4500CS/ SC-LSS8000CS

设备用途:对单、多晶硅片进行刻蚀、清洗、干燥。

工艺流程:正面保护→刻蚀→碱洗→酸洗→烘干

 

技术特点 

· 高产能:4500PCS/5道,8000PCS/10道。

· 高均匀性,超长药液寿命。

· 支持多种添加剂或混合添加剂技术。

· 支持最薄120μm硅片。

· 快速换液,在线换液。

· 支持MES,选配在线称重检测。

· 兼容酸抛光功能。

 

·免加硫酸

·无刻蚀线

·自动化程度高

·PID-Free(O3模块,可选)

 

设备参数

链式湿法刻蚀设备(参数图).JPG