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管式等离子体淀积炉

设备名称 Equipment Name
· 管式等离子体淀积炉  Horizontal PECVD

设备型号 Equipment Model
· PD-450L

设备用途 Equipment Application
· 主要用于晶体硅太阳能电池制造中电池片的减反射膜生长,也可用于在电池片的背面沉积钝化膜。
  Mainly used for generates highest quality anti-refiective coatings in the production of crystal silicon solar cells, and for deposition of passivation film on the rearside of solar cells.

工艺流程 ProcessFlow
· 石墨舟及硅片准备→管内充氮气→进舟→抽真空、压力测试→氨气预清理和检查→管路抽真空、测漏、恒温→预镀膜→镀膜→抽真空、压力测试→清管路、充氮气→退舟
 Graphite boat & wafers ready→
Nitrogen inlet→Graphite boat load in→Vacuum, pressure test →Ammonia pre-clean and check→Vacuum the tube,leak-checking , constant temperature→Pre-coating →Coating→Vacuum,pressure test→Tube cleaning and Nitrogen inlet→Graphite boatunload. 

技术特点  Features

· MES控制功能。
  MES controlfunction.

· 中央计算机集中控制。
  CCC Control.

· 双炉门结构设计。
  Double furnace doordesign.

· 双水冷凝冷却密封技术。
  Double cooling waterflanges sealing technology.

· 悬浮承载舟技术。
  Graphinte boat contact-free with quartz tube.

· 快速镀膜技术。
  Fast coatingtechnology.

· 兼容氮氧化硅PERC技术。
  Compatible with SiONPERC technology.

· 5管,4000片/小时以上产能。
  5 tubesthroughput>4000ps/h.

· 具备一定的氧化铝退火功能。
With Al2Oannealing function.
 

设备参数  Parameters