子公司中标半导体碳化硅整线湿法设备订单并完成合同签署

近日公司子公司创微微电子（常州）有限公司（以下简称：创微微电子）在竞标中技术与商务综合评估领先，中标半导体碳化硅整线湿法设备订单并顺利完成合同签署。

此次中标，标志着创微微电子6/8吋槽式及单片全自动湿法刻蚀清洗设备已经覆盖了碳化硅器件刻蚀清洗全段工艺，具备替代进口设备的能力。自2020年创立以来，创微微电子依托捷佳伟创集团平台，共享人才与技术，专注于整合国内外湿法技术与资源，引进台湾地区、韩国、日本等专家团队，不断攻坚克难，自主创新，成绩斐然。

创微微电子的6/8寸全自动湿法刻蚀清洗设备优势明显。第一，设备有优异的颗粒去除能力、金属污染控制能力、刻蚀均匀性控制能力，相关性能指标对标国际一线大厂；第二，设备国产化零部件占比高并已获得多家一线FAB厂量产验证，具有成本优势；第三，设备拥有自主开发软件，可根据客户工艺需求定制设备排程，实现客户产能最大化。

未来，创微微电子将继续以“开发满足客户未来需求的技术及产品”为核心战略，为客户提供优质的集成电路湿法设备，助力中国半导体产业的发展。