实现零突破！创微微电子单晶圆刻蚀清洗设备成功入选2023年度苏锡常首台（套）重大装备

近日，苏州市、无锡市、常州市工业和信息化局共同发布2023年苏锡常首台（套）重大装备拟认定公示名单。创微微电子（常州）有限公司的单晶圆刻蚀清洗设备成功通过公示认定，实现首台套零突破。 

苏锡常首台（套）重大装备认定旨在鼓励和引导装备制造企业开展技术创新，积极研制具有自主知识产权、整机性能或核心技术指标实现重大突破，达到国内领先或国际先进水平的高端装备和关键部件。该认定不仅是对企业技术实力和创新能力的认可，也是对企业为推动制造业高质量发展所作贡献的肯定。

创微微电子（常州）有限公司成立于2020年，是常州捷佳创精密机械有限公司的全资子公司、具备国内先进技术的半导体设备制造商。公司集研发、设计、制造、销售于一体，所开发的工艺设备主要用于湿法工艺步骤，包含光刻胶去除、氧化膜刻蚀、金属膜刻蚀、氮化硅刻蚀、炉管前清洗等。

此次入选的单晶圆刻蚀清洗设备主要是利用清洗工艺将晶圆表面的残留去除，残留溶解在清洗液中，晶圆转动提供去除残留的离心力，在离心力的作用下清洗液携带残留一起从晶圆的表面甩出，达到清洗晶圆的目的。该设备拥有多杯连动工艺腔、独创的CUP（杯罩）升降机构、多药液多功能工艺处理手臂、独有供液方法及气液分离结构等多项自主知识产权，目前已与多家知名企业达成合作意向。

首台（套）重大技术装备是推动制造业高端化、智能化绿色化发展的重要抓手，未来，创微微电子（常州）有限公司将加快推动重大技术装备攻关进程，进一步加强首台（套）重大装备研发应用，为装备制造业高质量发展做出持续贡献。