创微8吋Cassette-less设备成功导入积塔半导体，并获得重复性批量订单

近日，由创微微电子（常州）有限公司研发生产的8吋Cassette-less清洗设备顺利交付至上海积塔半导体有限公司并开始验证阶段，运行情况良好。近期创微成功中标该客户后续10余台清洗设备重复订单，制程涵盖8吋至12吋。该批设备将用于集成电路前段湿法刻蚀、去胶、清洗以及后段金属刻蚀、有机物去除相关工艺，标志着创微在湿法清洗领域已达到国际先进水平。

创微自2020年创立以来，依托捷佳伟创集团平台，共享人才及技术，专注于整合国内外湿法技术与资源，引进台湾地区、韩国、日本等专家团队。研发团队攻坚克难，自主创新，在短短一年的时间里，先后推出4-8吋全自动Cassette type清洗设备、8吋全自动Cassette-less清洗设备及4-8腔Single tool清洗设备。成功导入青岛芯恩、成都德州仪器、上海积塔等国内头部芯片企业并获得重复性订单。同时强化软件实力，协同国内多家供应商着力开发验证关键零部件，取得了多项“卡脖子”技术的重大突破。

着眼未来，公司已正式进军12吋高阶Single及Wet bench设备领域，与国际一线大厂展开直接竞争。在扩大设备应用面的同时，凭借高效能的自动化设计，高产能的生产排程软件，高稳定性的传输系统等技术，结合高质量的品质系统，为客户进行国产关键零部件的质量把关，最终同广大上下游厂商一道，共同为中国半导体产业的发展做出更多贡献。