创微微电子自主研发生产的首批集成电路全自动湿法设备成功交付客户

深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司作为太阳能电池设备的先进企业，为实现产业结构优化，提升公司在相关领域的自主创新能力和研发水平，顺应产品发展路径向半导体设备领域延伸，公司的全资子公司常州捷佳创精密机械有限公司于2019年成立了半导体湿法工艺研究室，集合国际团队重点加强对集成电路湿法设备进行研发。随着国家近年来对集成电路的支持力度不断加强、市场的强劲需求、产品研发的推进，常州捷佳创精密机械有限公司于2020年9月投资成立了创微微电子（常州）有限公司，专门从事集成电路湿法清洗工艺设备的研发、生产和销售，设备主要包含槽式及单晶圆湿法清洗设备。

截至目前，公司已取得重要客户在槽式湿法清洗设备上的批量订单，并于2021年7月21日成功交付3套集成电路全自动槽式湿法清洗设备至客户进行大批量生产。同时正在设计制造中的设备还包含了用于MicroLED、第三代化合物半导体及集成电路IDM厂的槽式清洗设备及相关附属设备，涵盖了集成电路200mm以下近70%湿法工艺步骤，包含有光刻胶去除、氧化膜刻蚀、金属膜刻蚀、炉管前清洗及有机溶剂清洗等，拥有Cassette 与Cassette less 两种类型，覆盖晶圆尺寸从100mm~200mm。

本次首批半导体清洗设备的成功交付，实现了公司在战略路线上的再次超越，从光伏装备设计及制造往泛半导体及半导体行业的拓展，也将成为国家集成电路装备国产化新的主力军。