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设备名称:ZnO-MOCVD 氧化锌—金属有机化合物化学气相外延
设备型号:MD-600B
设备用途:适用于制造LED的ZnO透明导电薄膜。ZnO透明导电薄膜具备提高光效和器件工作稳定性的特征,是未来可替代ITO 的第三代透明导电薄膜。
工艺流程:LED wafer装载并送入反应炉→Wafer退火处理→接触层生长→导电层生长→表面层生长→透明电极退火处理→ 卸载石墨盘、取出LED wafer。
设备特点:
●反应腔:大容量、大尺寸垂直桶式腔体结构;抗高温氧化技术。
●温场:高温抗氧化长寿命加热体,加热体形状、分布设计,高性价比加热控制系统。
●自动化:高性价比机械手。
●安全性:逻辑诊断和快速反应机构。
●气场:多层匀气送气结构,抑制预反应的特种喷射技术。
●设备控制软件:可中断和在线修改,可记忆自我诊断。
●可靠性及稳定性:模块化设计,加工及装配高标准。
●可制备ZnO、AZO、GZO、Al2O3、Ga2O3等高质量的薄膜材料。
设备基本参数: