设备名称：ZnO-MOCVD  氧化锌—金属有机化合物化学气相外延

设备型号：MD-600B

设备用途：适用于制造LED的ZnO透明导电薄膜。ZnO透明导电薄膜具备提高光效和器件工作稳定性的特征，是未来可替代ITO 的第三代透明导电薄膜。

工艺流程：LED wafer装载并送入反应炉→Wafer退火处理→接触层生长→导电层生长→表面层生长→透明电极退火处理→ 卸载石墨盘、取出LED wafer。

设备特点：

●反应腔：大容量、大尺寸垂直桶式腔体结构；抗高温氧化技术。

●温场：高温抗氧化长寿命加热体，加热体形状、分布设计，高性价比加热控制系统。

●自动化：高性价比机械手。

●安全性：逻辑诊断和快速反应机构。

●气场：多层匀气送气结构，抑制预反应的特种喷射技术。

●设备控制软件：可中断和在线修改，可记忆自我诊断。

●可靠性及稳定性：模块化设计，加工及装配高标准。

●可制备ZnO、AZO、GZO、Al2O3、Ga2O3等高质量的薄膜材料。    

设备基本参数：